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     复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。另外若系统停止运转再重启,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。⑴洁净隧道clean tunnel:以hepa或ulpa过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ulsi制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:a.弹性扩充容易; b.维修设备时可在维修区轻易执行。


    洁净管道clean tube:将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。建议不要佩戴悬垂式耳环、项链、胸针和其他凸出来的或者悬挂的饰品,即便它们一般都是藏在衣服里面,不要佩戴这些饰物。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到-之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。-、食品业界及半导体业界均适用。并装局部无尘室clean spot:将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作台:等级class 1~100级。


    并装局部无尘室clean spot:将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。厂址应设在自然环境和水质较好,-含尘浓度较低,地形、地物、地貌造成的小气候有利于生产、节能的区域,应远离大量散发粉尘、烟雾、有害气体和微生物的区域,如机场、铁路、码头、交通要道等,并在污染源和全年-风向的上风侧面,且有一定的防护距离。洁净工作台:等级class 1~100级。洁净工作棚:为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之hepa或ulpa及空调送风机组而成为一较高之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。



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